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  • 檢索結果:共1筆資料 檢索策略: "機械工程系".dept (精準) and ckeyword.raw="四旋轉軸球拋機"


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    四旋轉軸單晶矽晶球拋光加工機設計與研拋製程參數分析研究
    • /111/ 碩士
    • 研究生: 林堉鋐 指導教授: 陳炤彰
    • 澳洲聯邦科學暨工業研究院與德國聯邦物理技術研究院使用 Cup-type球拋機搭配氧化鋁磨料研光和粗拋與酸性的二氧化鈦拋光液精拋製出單晶矽晶球,並在2019 成為最新的國際質量原器。本研究自行設計四旋…
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    • 全文公開日期 2025/02/15 (校內網路)
    • 全文公開日期 2025/02/15 (校外網路)
    • 全文公開日期 2025/02/15 (國家圖書館:臺灣博碩士論文系統)
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